淺(qian)談(tan)半(ban)導(dao)體(ti)工廠能耗分析(xi)及(ji)環境(jing)對(dui)能耗的影(ying)響(xiang)

安(an)科瑞(rui)電氣股(gu)份(fen)有限(xian)公司(si) 上(shang)海嘉(jia)定(ding) 201801

摘要(yao)：根據(ju)上(shang)海市某(mou)半導(dao)體制(zhi)造工廠2026年(nian)01月10日(ri)至2026年(nian)01月10日(ri)動力機房(fang)內(nei)冷(leng)水(shui)機組的實測滿載率(lv)和全(quan)年逐(zhu)日(ri)負(fu)荷中(zhong)與(yu)室(shi)外(wai)氣(qi)象(xiang)條(tiao)件相關(guan)部分(fen)，推(tui)導負(fu)荷和室(shi)外(wai)空(kong)氣(qi)比(bi)焓(han)的關(guan)聯度，並依(yi)據(ju)４個(ge)生(sheng)產半(ban)導(dao)體的重點城(cheng)市的典(dian)型氣象(xiang)（設計(ji)典(dian)型）年逐(zhu)時(shi)參(can)數(shu)報(bao)表(biao)總結了(le)建(jian)造地點對(dui)能耗的影(ying)響(xiang)，提(ti)出了(le)未(wei)來半(ban)導體工廠的節(jie)能方(fang)向。

關(guan)鍵(jian)詞(ci):半(ban)導(dao)體(ti)工廠；負(fu)荷；能源消耗(hao)；氣(qi)象(xiang)數(shu)據(ju)；比(bi)焓(han)分析(xi)

0引言

隨(sui)著半導體制(zhi)造技(ji)術(shu)越(yue)來越(yue)進(jin)步(bu)，以(yi)及(ji)制造裝置和配(pei)套設(she)備(bei)大型(xing)化(hua)的趨勢(shi)，潔(jie)凈室(shi)結構和面(mian)積(ji)也(ye)越(yue)來越(yue)大，半(ban)導(dao)體(ti)工廠的能源消耗(hao)日(ri)趨增(zeng)大。精細(xi)分(fen)析(xi)工廠的能源消耗(hao)組成及(ji)不同(tong)條(tiao)件下(xia)建(jian)廠對運行(xing)費用的影(ying)響(xiang)顯得十分重(zhong)要(yao)。本(ben)文以(yi)上(shang)海市某(mou)半導(dao)體制(zhi)造工廠機(ji)房(fang)改(gai)造項(xiang)目(mu)為例(li)，整理半(ban)導(dao)體廠(chang)房(fang)能耗規律(lv)並形(xing)成報(bao)告(gao)，進(jin)壹步(bu)演算不同建(jian)造地點對(dui)半(ban)導(dao)體(ti)廠房(fang)能耗影(ying)響(xiang)的關(guan)聯度，為公司(si)經(jing)營活動提(ti)供(gong)數(shu)據(ju)支(zhi)持(chi)。

1半(ban)導體工廠的能源消耗(hao)

1．1能源消耗(hao)結(jie)構(gou)

國維持(chi)室(shi)內潔凈度(du)、溫(wen)濕度(du)，為生(sheng)產設(she)備(bei)提供(gong)電(dian)力、超純(chun)水(shui)、特氣(qi)、化學品(pin)、壓(ya)空、真(zhen)空(kong)，以(yi)及(ji)進(jin)行(xing)廢(fei)水(shui)、廢(fei)氣處理等需要(yao)消(xiao)耗(hao)大量(liang)能源，半導(dao)體(ti)潔(jie)凈廠(chang)房(fang)消(xiao)耗的能源以(yi)電(dian)和天(tian)然(ran)氣為主(zhu)。根據(ju)國(guo)際半導(dao)體產業協(xie)會（ＳＥＭＩ）公布的ＳＥＭＩ－Ｓ２３裝置能源換算系數(shu)，統(tong)計(ji)得到上海某(mou)半導(dao)體制(zhi)造工廠的能源消耗(hao)結(jie)構(gou)，如圖１所示，除生(sheng)產設(she)備(bei)用電(dian)外(wai)的生(sheng)產附(fu)屬(shu)設備(bei)能耗結構(gou)如圖２所示。

1．2能耗數(shu)據(ju)分(fen)析(xi)

由(you)圖１可以(yi)看(kan)出，生(sheng)產設(she)備(bei)所消(xiao)耗的能源多，占(zhan)比(bi)達(da)52％，而(er)且與(yu)設(she)備(bei)相關(guan)的冷(leng)熱(re)源(yuan)設(she)備(bei)（占(zhan)比(bi)20％）也(ye)是(shi)能耗大戶(hu)。在同樣(yang)工藝、相(xiang)同產能前(qian)提下(xia)，生(sheng)產設(she)備(bei)耗能相差(cha)甚(shen)微，所以(yi)本(ben)文重點討(tao)論(lun)冷(leng)源(yuan)設(she)備(bei)中(zhong)因工廠建(jian)造地點不(bu)同(tong)、新(xin)風(feng)參(can)數(shu)變化引起(qi)的能耗波(bo)動，旨(zhi)在(zai)分析(xi)建造地點對(dui)半(ban)導(dao)體(ti)工廠能耗的影(ying)響(xiang)。

2某(mou)半導(dao)體制(zhi)造工廠2015—2017年(nian)冷(leng)水(shui)機組運行(xing)參(can)數(shu)分析(xi)

2.1數(shu)據(ju)來(lai)源

原機房(fang)設(she)計(ji)采用機(ji)械(xie)通風(feng)方(fang)式（機(ji)械排風(feng)＋自然(ran)送(song)風(feng)），離(li)心風(feng)機通(tong)過風(feng)管系(xi)統(tong)將機房(fang)內(nei)空氣吸(xi)入後排(pai)出(chu)室外(wai)，在(zai)機(ji)房(fang)內(nei)形成壹定(ding)的相對(dui)負(fu)壓(ya)，室外(wai)新(xin)風(feng)經(jing)由(you)特定(ding)位(wei)置的百葉風(feng)口吸(xi)入機房(fang)內(nei)。機房(fang)運(yun)行(xing)多年(nian)後(hou)，特別(bie)是(shi)二期的冷(leng)水(shui)機組及(ji)水(shui)泵安(an)裝運行(xing)後，發現如下(xia)問(wen)題：1）夏(xia)季機房(fang)內(nei)溫(wen)度過高，維(wei)保(bao)人(ren)員(yuan)無(wu)法(fa)忍受；2）夏(xia)季機房(fang)內(nei)濕度過高，導(dao)致(zhi)部分(fen)管(guan)路(lu)出現凝露(lu)銹(xiu)蝕(shi)；3）全(quan)年機(ji)房(fang)內(nei)為負(fu)壓(ya)，設備(bei)積(ji)塵(chen)嚴重。根據(ju)建(jian)設單(dan)位(wei)提供(gong)的機房(fang)２０１５年(nian)１月１日(ri)至２０１８年(nian)８月１２日(ri)的水(shui)泵運(yun)行(xing)頻率(lv)和冷(leng)水(shui)機組的壓(ya)縮(suo)機(ji)運行(xing)電流(liu)，計(ji)算得出冷(leng)負(fu)荷，設(she)計(ji)ＭＡＵ＋ＲＣＵ（新風(feng)空調(tiao)機(ji)＋自循環(huan)機組）組合空調方(fang)式解決上述３個問(wen)題，並(bing)使(shi)機房(fang)全(quan)年溫(wen)度不(bu)高(gao)於(yu)２８℃，相對濕(shi)度不(bu)大於(yu)６０％，同(tong)時(shi)驗證(zheng)建(jian)設(she)單(dan)位(wei)所提供(gong)數(shu)據(ju)的真(zhen)實(shi)可靠性。由(you)於２０１８年數(shu)據(ju)不(bu)全(quan)，本(ben)文僅(jin)對(dui)２０１５—２０１７年(nian)３個(ge)完整日(ri)歷年(nian)的數(shu)據(ju)進(jin)行(xing)分析(xi)。

2.2數(shu)據(ju)分(fen)析(xi)結論(lun)

數(shu)據(ju)統(tong)計(ji)思路(lu)為將給定(ding)的當(dang)日(ri)冷(leng)水(shui)機組運行(xing)臺數(shu)乘以(yi)設(she)備(bei)的額定(ding)功率(lv)再乘(cheng)以(yi)機(ji)組當(dang)日(ri)的負(fu)荷率(lv)，得出(chu)當(dang)日(ri)的運行(xing)平均(jun)輸出(chu)功率(lv)ＰＤ：ＰＤ＝ＮＤＰＲ（１）式中(zhong)ＮＤ為當(dang)日(ri)冷(leng)水(shui)機組運行(xing)臺數(shu)，以(yi)２０１５年(nian)１月１日(ri)壹期低(di)溫(wen)冷(leng)水(shui)機組為例(li)，ＮＤ＝２；Ｐ為冷(leng)水(shui)機組額定(ding)功率(lv)，同上(shang)條(tiao)件，Ｐ＝７５２ｋＷ；Ｒ為冷(leng)水(shui)機組額定(ding)負(fu)載電流，同上(shang)條(tiao)件，Ｒ＝５５％。計(ji)算可得，２０１５年１月(yue)１日(ri)壹期低(di)溫(wen)冷(leng)水(shui)機組的平均(jun)輸出(chu)功率(lv)為８２７．２ｋＷ。根據(ju)上(shang)述方(fang)法(fa)分(fen)別(bie)統(tong)計(ji)出低(di)溫(wen)冷(leng)水(shui)機組和中(zhong)

溫(wen)冷(leng)水(shui)機組２０１５年的逐(zhu)日(ri)平均(jun)輸出(chu)功率(lv)，如圖３所示。

根據(ju)統(tong)計(ji)數(shu)據(ju)得(de)出，低溫(wen)冷(leng)水(shui)機組整年(nian)運(yun)行(xing)曲線平整，５—１０月(yue)為負(fu)荷高(gao)峰期(qi)，其余(yu)月(yue)份除偶(ou)爾(er)幾天出現峰值(zhi)，其他日(ri)期較(jiao)５—１０月低(di)３６％，低溫(wen)冷(leng)水(shui)機組的日(ri)平均(jun)輸出(chu)功率(lv)低值(zhi)出(chu)現在１２月(yue)１７日(ri)，為６１２ｋＷ；高值(zhi)出(chu)現在８月(yue)７日(ri)，為２２４９．４ｋＷ。分析(xi)數(shu)據(ju)得(de)出，低溫(wen)冷(leng)水(shui)機組全(quan)年開(kai)啟是(shi)因為其他附屬(shu)功(gong)能區(qu)，比(bi)如辦公區(qu)、食堂(tang)、設(she)備(bei)機房(fang)的新風(feng)空調(tiao)及(ji)ＦＣＵ等全(quan)年制(zhi)冷(leng)設(she)備(bei)接(jie)入了(le)低(di)溫(wen)冷(leng)水(shui)所致(zhi)，這(zhe)部分(fen)負(fu)荷相(xiang)對(dui)比(bi)較(jiao)固定(ding)，室外(wai)空(kong)氣(qi)參(can)數(shu)對其影(ying)響(xiang)較(jiao)小(xiao)，在(zai)後(hou)面(mian)分(fen)析(xi)中(zhong)刪減(jian)此(ci)部分(fen)負(fu)荷，如圖３所示。中(zhong)溫(wen)冷(leng)水(shui)機組整年(nian)運(yun)行(xing)曲線根據(ju)新(xin)風(feng)條(tiao)件不同(tong)發生(sheng)了(le)相(xiang)應變化，日(ri)平均(jun)輸出(chu)功率(lv)低值(zhi)出(chu)現在

２月(yue)５日(ri)，為２７３４．１２ｋＷ；高值(zhi)出(chu)現在８月(yue)６日(ri)，為７６４０．７２ｋＷ。分析(xi)數(shu)據(ju)得(de)出，中(zhong)溫(wen)冷(leng)水(shui)機組承擔(dan)了(le)核心生(sheng)產區(qu)的ＭＡＵ新風(feng)預冷(leng)負(fu)荷、生(sheng)產區(qu)降溫(wen)幹盤(pan)管(guan)負(fu)荷、純(chun)廢(fei)水(shui)用冷(leng)負(fu)荷、生(sheng)產冷(leng)卻(que)水(shui)用冷(leng)負(fu)荷等，全(quan)年負(fu)荷水(shui)平較(jiao)高(gao)，且不隨(sui)室外(wai)空(kong)氣(qi)參(can)數(shu)變化而(er)變化，在(zai)後(hou)面(mian)分(fen)析(xi)中(zhong)合理刪(shan)減(jian)此(ci)部分(fen)負(fu)荷，如圖４所示。

按照(zhao)此(ci)方(fang)法(fa)，分(fen)別(bie)統(tong)計(ji)出２０１６年(nian)和２０１７年(nian)的逐(zhu)日(ri)平均(jun)輸出(chu)功率(lv)，如圖５～８所示。

3四個生(sheng)產半(ban)導(dao)體的重點城(cheng)市的氣象(xiang)數(shu)據(ju)統(tong)計(ji)

3.1建廠(chang)地點選擇(ze)分(fen)析(xi)

工業企業建設(she)地點的選擇(ze)和很多因(yin)素(su)有關(guan)，壹般來(lai)說除考(kao)慮(lv)社會、經(jing)濟、技(ji)術(shu)、政(zheng)策因素(su)以(yi)外(wai)，自(zi)然(ran)資源(yuan)也(ye)有很大影(ying)響(xiang)，比(bi)如氣候、水(shui)資源(yuan)、風(feng)力資源、電力資源、天然(ran)氣供(gong)給等。本(ben)文選擇(ze)北(bei)京(jing)、上海、成都、廈(sha)門(men)４個(ge)生(sheng)產半(ban)導(dao)體的重點城(cheng)市進(jin)行(xing)數(shu)據(ju)統(tong)計(ji)分析(xi)，使論(lun)文更貼合工程實際應用，發掘(jue)其中(zhong)規律(lv)。為使論(lun)文的數(shu)據(ju)來(lai)源更具性，氣(qi)象(xiang)參(can)數(shu)引自氣(qi)象(xiang)局公布的“典(dian)型氣象(xiang)（設計(ji)典(dian)型）年

逐(zhu)時(shi)參(can)數(shu)報(bao)表(biao)"，北(bei)京(jing)站臺編(bian)號(hao)為５４５１１，上海站臺編(bian)號(hao)為５８３６２，成都站臺編(bian)號(hao)為５７６３３，廈(sha)門(men)站臺編(bian)號(hao)為５９１３４。

工廠運(yun)行(xing)時(shi)，能耗特點為用於(yu)夏(xia)季降溫(wen)除濕(shi)的能耗大於(yu)冬(dong)季用於(yu)加(jia)濕的能耗，如果(guo)簡單(dan)選擇(ze)室(shi)外(wai)幹(gan)球(qiu)溫(wen)度變化趨勢(shi)來(lai)分析(xi)，勢必造成數(shu)據(ju)失(shi)真(zhen)，比(bi)如室外(wai)中(zhong)溫(wen)高濕(shi)情況(kuang)下(xia)冷(leng)水(shui)機組負(fu)荷也(ye)大。因(yin)此(ci)，本(ben)文歸類(lei)統(tong)計(ji)４個生(sheng)產半(ban)導(dao)體的重點城(cheng)市的逐(zhu)日(ri)比(bi)焓(han)，來驗(yan)證(zheng)不(bu)同(tong)城(cheng)市的能耗偏差(cha)。

3.2北(bei)京(jing)典(dian)型氣象(xiang)年逐(zhu)日(ri)比(bi)焓(han)統(tong)計(ji)（見圖９）

3.3上海典(dian)型氣象(xiang)年逐(zhu)日(ri)比(bi)焓(han)統(tong)計(ji)（見圖10）

3.4成都典(dian)型氣象(xiang)年逐(zhu)日(ri)比(bi)焓(han)統(tong)計(ji)（見圖11）

3.5廈(sha)門(men)典(dian)型氣象(xiang)年逐(zhu)日(ri)比(bi)焓(han)統(tong)計(ji)（見圖12）

4室外(wai)空(kong)氣(qi)參(can)數(shu)變化對(dui)能耗的影(ying)響(xiang)分(fen)析(xi)

通過對圖１０所示的上海典(dian)型氣象(xiang)年逐(zhu)日(ri)比(bi)焓(han)與(yu)圖３、５中(zhong)冷(leng)水(shui)機組２０１５—２０１７年逐(zhu)日(ri)平均(jun)輸出(chu)功率(lv)的正(zheng)相關(guan)性分(fen)析(xi)，計(ji)算得到因室(shi)外(wai)空(kong)氣(qi)比(bi)焓(han)波(bo)動引起(qi)的平均(jun)輸出(chu)功率(lv)增(zeng)加(jia)因數(shu)，再反(fan)推北(bei)京(jing)、成

都、廈(sha)門(men)三(san)地的能耗，結果(guo)見表(biao)１。地點對(dui)能耗影(ying)響(xiang)比(bi)重(zhong)約為９％；選擇(ze)以(yi)北(bei)京(jing)為代(dai)表(biao)的寒(han)冷(leng)地區(qu)建廠(chang)為佳，選擇(ze)以(yi)上(shang)海、成都為代(dai)表(biao)的夏(xia)熱(re)冬(dong)冷(leng)地區(qu)次之，而(er)以(yi)廈(sha)門(men)為代(dai)表(biao)的夏(xia)熱(re)冬(dong)暖地區(qu)稍差(cha)；能耗偏差(cha)在(zai)－２５％～３０％之間(jian)，約(yue)占(zhan)整廠(chang)能耗的２％～３％。

5半導(dao)體工廠節(jie)能措(cuo)施(shi)分(fen)析(xi)

根據(ju)圖１所示的能源消耗(hao)構(gou)成，半(ban)導(dao)體工廠的能源消耗(hao)特(te)性是(shi)空調設(she)備(bei)和生(sheng)產制(zhi)造裝置能耗占(zhan)比(bi)大，所(suo)以(yi)從這(zhe)兩方(fang)面(mian)開(kai)展(zhan)節(jie)能對策研(yan)究(jiu)，具體(ti)分(fen)析(xi)如下(xia)。

5.1生(sheng)產設(she)備(bei)節(jie)能對策

半(ban)導(dao)體(ti)生(sheng)產中(zhong)，應根據(ju)各個(ge)生(sheng)產過程的不同(tong)特點，深(shen)入了(le)解設備(bei)特性，優(you)化生(sheng)產程序，達(da)到節(jie)能目的。例(li)如，擴散(san)爐等設(she)備(bei)用電(dian)量(liang)大，使(shi)得(de)潔(jie)凈室(shi)內冷(leng)負(fu)荷增(zeng)大，對(dui)應的冷(leng)卻(que)水(shui)量、排(pai)氣量增(zeng)大：從用電(dian)量(liang)考(kao)慮(lv)，考(kao)慮(lv)生(sheng)產設(she)備(bei)並不(bu)是(shi)連續(xu)運(yun)轉(zhuan)生(sheng)產，需要(yao)降(jiang)低(di)設備(bei)待(dai)機(ji)狀(zhuang)態時(shi)的用電(dian)量(liang)；從冷(leng)卻(que)水(shui)考(kao)慮(lv)，在設(she)備(bei)允許(xu)的前(qian)提下(xia)，提(ti)高冷(leng)卻(que)水(shui)的溫(wen)度，使(shi)全(quan)年均(jun)可使用冷(leng)卻(que)塔自然(ran)換熱(re)，而(er)不(bu)需要(yao)經(jing)過冷(leng)水(shui)機組換熱(re)降(jiang)溫(wen)；從排(pai)氣量考(kao)慮(lv)，準確把(ba)握(wo)裝置的必要(yao)排(pai)氣(qi)量和真(zhen)空(kong)度(du)要(yao)求(qiu)，匹配(pei)好設(she)定(ding)值(zhi)和需要(yao)值(zhi)之間(jian)的誤差(cha)，減(jian)少排氣(qi)浪(lang)費(fei)，從而(er)降(jiang)低(di)新(xin)風(feng)處理能耗。再比(bi)如清洗(xi)裝置，純(chun)水(shui)使用量(liang)和廢(fei)液排(pai)放量(liang)特別多，從消(xiao)耗純(chun)水(shui)考(kao)慮(lv)，二次(ci)配(pei)管時(shi)，循環(huan)管應盡可能靠近機(ji)臺(tai)，減(jian)少因非(fei)循環(huan)管路(lu)洗(xi)凈等待(dai)時(shi)的純(chun)水(shui)排出(chu)量，從而(er)也(ye)減(jian)少廢(fei)液排(pai)放。

5.2生(sheng)產附(fu)屬(shu)設備(bei)節(jie)能對策

根據(ju)圖２所示生(sheng)產附(fu)屬(shu)設備(bei)能源消耗(hao)構(gou)成，冷(leng)熱(re)源(yuan)設(she)備(bei)和循環(huan)空調設備(bei)是(shi)主(zhu)要(yao)耗(hao)能設備(bei)，提高(gao)冷(leng)水(shui)機組的ＣＯＰ，提高(gao)風(feng)機、水(shui)泵的輸送(song)能效(xiao)比(bi)是(shi)節(jie)能的關(guan)鍵(jian)。由(you)於生(sheng)產的不同(tong)時(shi)使用特(te)性，風(feng)機和水(shui)泵大範(fan)圍(wei)使(shi)用變頻器，排氣(qi)熱(re)回(hui)收和冬(dong)季、過渡季使用免(mian)費(fei)供(gong)冷(leng)系(xi)統(tong)是(shi)節(jie)能的有效(xiao)對策(ce)，比(bi)如富士(shi)通(tong)的半導(dao)體工廠在(zai)寒(han)冷(leng)地區(qu)建廠(chang)，冬(dong)季使用低(di)溫(wen)冷(leng)卻(que)水(shui)降低(di)冷(leng)水(shui)回(hui)水(shui)溫(wen)度，從而(er)提(ti)高(gao)冷(leng)水(shui)機組ＣＯＰ，甚至縮(suo)短冷(leng)水(shui)機組運行(xing)時(shi)間(jian)，降(jiang)低(di)電(dian)力消耗。

6 Acrel-EIOT能源物聯網(wang)雲(yun)平臺(tai)

（1）概(gai)述

Acrel-EIoT能源物聯網(wang)開(kai)放(fang)平臺(tai)是(shi)壹套基於物聯網(wang)數(shu)據(ju)中(zhong)臺，建(jian)立(li)統(tong)壹的上下(xia)行(xing)數(shu)據(ju)標(biao)準，為互(hu)聯網(wang)用戶(hu)提供(gong)能源物聯網(wang)數(shu)據(ju)服務的平臺(tai)。用戶(hu)僅(jin)需購買(mai)安(an)科瑞(rui)物聯網(wang)傳(chuan)感(gan)器，選配(pei)網(wang)關(guan)，自行(xing)安(an)裝後掃(sao)碼即可使用手機(ji)和電(dian)腦得到所需的行(xing)業數(shu)據(ju)服務。

該平臺(tai)提(ti)供(gong)數(shu)據(ju)駕駛(shi)艙、電(dian)氣安(an)全(quan)監測、電能質量分(fen)析(xi)、用電(dian)管(guan)理、預(yu)付(fu)費(fei)管(guan)理、充電(dian)樁管理、智(zhi)能照明(ming)管(guan)理、異(yi)常(chang)事件(jian)報(bao)警(jing)和記錄(lu)、運(yun)維(wei)管(guan)理等功(gong)能，並支持(chi)多平臺(tai)、多語(yu)言(yan)、多終端(duan)數(shu)據(ju)訪問(wen)。

（2）應用場所(suo)

本(ben)平臺(tai)適(shi)用於(yu)公寓(yu)出(chu)租戶(hu)、連鎖小(xiao)超(chao)市、小(xiao)型(xing)工廠、樓管系統(tong)集成商(shang)、小(xiao)型(xing)物業、智(zhi)慧城(cheng)市、變配(pei)電站、建築(zhu)樓宇、通信(xin)基站、工業能耗、智(zhi)能燈塔、電力運維等領(ling)域(yu)。

（3）平臺(tai)結(jie)構(gou)

（4）平臺(tai)功(gong)能

◆電力集抄

電力集抄模塊(kuai)可以(yi)實(shi)現對各種(zhong)監(jian)測數(shu)據(ju)的查(zha)詢、分析(xi)、預警及(ji)綜合展(zhan)示，以(yi)保(bao)證配(pei)電室(shi)的環境(jing)友好。在智(zhi)能化方(fang)面(mian)實(shi)現供(gong)配(pei)電監(jian)控系統(tong)的遙測'、遙信(xin)、遙控控制，對(dui)系統(tong)進(jin)行(xing)綜合檢(jian)測和統(tong)壹管理；在(zai)數(shu)據(ju)資(zi)源管理方(fang)面(mian)，可以(yi)顯示或查(zha)詢供(gong)配(pei)電室(shi)內各設(she)備(bei)運行(xing)（包括歷(li)史(shi)和實(shi)時(shi)參(can)數(shu)，並根據(ju)實(shi)際情況(kuang)進(jin)行(xing)日(ri)報(bao)、月(yue)報(bao)和年(nian)報(bao)查(zha)詢或打(da)印，提高(gao)工作(zuo)效(xiao)率(lv)，節(jie)約(yue)人(ren)力資源。

變壓(ya)器監控

配(pei)電圖

◆能耗分析(xi)

能耗分析(xi)模塊(kuai)采用自(zi)動(dong)化、信(xin)息(xi)化技(ji)術(shu)，實(shi)現從能源數(shu)據(ju)采(cai)集、過程監控、能源介質(zhi)消(xiao)耗(hao)分析(xi)、能耗管理等全(quan)過程的自動(dong)化、科學化管(guan)理，使(shi)能源管理、能源生(sheng)產以(yi)及(ji)使用的全(quan)過程有機(ji)結(jie)合起(qi)來，運(yun)用數(shu)據(ju)處理與(yu)分(fen)析(xi)技(ji)術(shu)，進(jin)行(xing)離(li)線生(sheng)產分(fen)析(xi)與(yu)管(guan)理，實(shi)現全(quan)廠能源系統(tong)的統(tong)壹調度(du)，優(you)化能源介質(zhi)平衡、有效(xiao)利用能源，提高(gao)能源質量(liang)、降(jiang)低(di)能源消耗(hao)，達(da)到節(jie)能降耗和提(ti)升整體(ti)能源管理水(shui)平的目的。

能耗概(gai)況(kuang)

◆預(yu)付(fu)費(fei)管(guan)理

1）登(deng)陸(lu)管理：管(guan)理操(cao)作(zuo)員(yuan)賬戶(hu)及(ji)權限(xian)分配(pei)，查(zha)看系(xi)統(tong)日(ri)誌等功(gong)能；

2）系統(tong)配(pei)置：對建(jian)築(zhu)、通(tong)訊管(guan)理機(ji)、儀(yi)表(biao)及(ji)默(mo)認(ren)參(can)數(shu)進(jin)行(xing)配(pei)置；

3）用戶(hu)管理：對(dui)商(shang)鋪用戶(hu)執行(xing)開(kai)戶(hu)、銷戶(hu)、遠(yuan)程分合閘(zha)、批(pi)量操(cao)作(zuo)及(ji)記錄(lu)查(zha)詢等操(cao)作(zuo)；

4）售(shou)電管(guan)理：對(dui)已(yi)開(kai)戶(hu)的表(biao)進(jin)行(xing)遠(yuan)程售(shou)電、退(tui)電、沖(chong)正(zheng)及(ji)記錄(lu)查(zha)詢等操(cao)作(zuo)；

5）售(shou)水(shui)管理：對(dui)已(yi)開(kai)戶(hu)的表(biao)進(jin)行(xing)遠(yuan)程售(shou)水(shui)、退(tui)水(shui)、記錄(lu)查(zha)詢等操(cao)作(zuo)；

6）報(bao)表(biao)：提(ti)供(gong)售(shou)電、售(shou)水(shui)財務報(bao)表(biao)、用能報(bao)表(biao)、報(bao)警(jing)報(bao)表(biao)等查(zha)詢，本(ben)系(xi)統(tong)所有的報(bao)表(biao)及(ji)記錄(lu)查(zha)詢，都支(zhi)持(chi)excel格(ge)式導(dao)出。

預(yu)付(fu)費(fei)看(kan)板(ban)

◆充電(dian)樁管理

通(tong)過物聯網(wang)技(ji)術(shu)，對(dui)接(jie)入系統(tong)的充電(dian)樁站點和各個(ge)充電(dian)樁進(jin)行(xing)不間(jian)斷(duan)地數(shu)據(ju)采(cai)集和監(jian)控，同時(shi)對各類(lei)故(gu)障如充電(dian)機(ji)過溫(wen)保(bao)護、充電(dian)機(ji)輸入輸出(chu)過壓(ya)、欠壓(ya)、絕緣(yuan)檢(jian)測故(gu)障等壹系列(lie)故(gu)障進(jin)行(xing)預警(jing)。雲平臺(tai)包(bao)含(han)了(le)充電(dian)收費和充電(dian)樁運營(ying)的所有功(gong)能，包括城(cheng)市級(ji)大屏(ping)、交(jiao)易管理、財務管理、變壓(ya)器監控、運營(ying)分析(xi)、基礎(chu)數(shu)據(ju)管(guan)理等功(gong)能。

充電(dian)樁看板(ban)

◆智(zhi)能照明(ming)

智(zhi)能照明(ming)通(tong)過物聯網(wang)技(ji)術(shu)對(dui)安(an)裝在城(cheng)市各區(qu)域的室內(nei)照明(ming)、城(cheng)市路(lu)燈等照(zhao)明(ming)回(hui)路(lu)的用電(dian)狀(zhuang)態進(jin)行(xing)不間(jian)斷(duan)地數(shu)據(ju)監(jian)測，也(ye)可以(yi)實(shi)現定(ding)時(shi)開(kai)關(guan)策略(lve)配(pei)置及(ji)後臺(tai)遠(yuan)程管理和移(yi)動管(guan)理等，降(jiang)低(di)路(lu)燈設(she)施(shi)的維護(hu)難(nan)度(du)和成本(ben)，提(ti)升(sheng)管(guan)理水(shui)平，並(bing)達(da)到壹定(ding)節(jie)能減掛(gua)的效(xiao)果(guo)。

監(jian)控頁面(mian)

◆安(an)全(quan)用電(dian)

安(an)全(quan)用電(dian)采(cai)用剩(sheng)余(yu)電(dian)流互(hu)感(gan)器、溫(wen)度傳(chuan)感(gan)器、電氣(qi)火(huo)災(zai)探(tan)測器，對引發電(dian)氣火災(zai)的主(zhu)要(yao)因(yin)素(su)（導(dao)線溫(wen)度、電(dian)流(liu)和剩(sheng)余(yu)電(dian)流）進(jin)行(xing)不間(jian)斷(duan)的數(shu)據(ju)跟(gen)蹤與(yu)統(tong)計(ji)分析(xi)，並將發現的各種(zhong)隱(yin)患(huan)信(xin)息(xi)及(ji)時(shi)推送(song)給企(qi)業管理人(ren)員(yuan)，指導(dao)企(qi)業實現壹時(shi)間(jian)的排查(zha)和治理，達(da)到消除潛(qian)在(zai)電(dian)氣火災安(an)全(quan)隱(yin)患(huan)，實現“防患(huan)於未(wei)然(ran)"的目的。

◆智(zhi)慧消防

通(tong)過雲平臺(tai)進(jin)行(xing)數(shu)據(ju)分(fen)析(xi)、挖掘(jue)和趨勢(shi)分(fen)析(xi)，幫助實現科學(xue)預警火災、網(wang)格(ge)化管理、落(luo)實(shi)多元(yuan)責(ze)任監管(guan)等目(mu)標(biao)。原先(xian)針(zhen)對“九(jiu)小(xiao)場所(suo)"和危化(hua)品(pin)生(sheng)產企(qi)業無(wu)法(fa)有效(xiao)監控的空白(bai)，適(shi)應於所(suo)有公建(jian)和民(min)建，實現了(le)無(wu)人(ren)化值(zhi)守(shou)智(zhi)慧消防，實(shi)現智(zhi)慧消防“自(zi)動(dong)化"、“智(zhi)能化"、“系統(tong)化"、用電(dian)管(guan)理“精細(xi)化(hua)"的實際需求(qiu)。

（5）系統(tong)硬件(jian)配(pei)置

7結論(lun)

以(yi)史(shi)為鑒，半(ban)導體產業是(shi)戰略(lve)之爭(zheng)。２０１４年國務院頒(ban)布的《集成電(dian)路(lu)產業發展(zhan)推(tui)進(jin)綱(gang)要(yao)》明(ming)確提出，到２０２０年，集(ji)成電(dian)路(lu)產業與(yu)國(guo)際水(shui)平的差(cha)距(ju)逐(zhu)步(bu)縮(suo)小(xiao)，１６、１４ｎｍ制(zhi)造工藝實(shi)現規模量(liang)產，封裝測試(shi)技(ji)術(shu)達(da)到國際水(shui)平，關(guan)鍵(jian)裝備(bei)和材料進(jin)入國際采購(gou)體系(xi)，基本(ben)建(jian)成技(ji)術(shu)、安(an)全(quan)可靠的集成電(dian)路(lu)產業體系(xi)。２０１５年發布的１０年戰(zhan)略(lve)計(ji)劃《中(zhong)國制(zhi)造２０２５》則(ze)提(ti)出，２０２０年中(zhong)國芯(xin)片自(zi)給率(lv)要(yao)達(da)到４０％，２０２５年要(yao)達(da)到７０％。如何(he)推動(dong)半(ban)導體工廠的建廠(chang)技(ji)術(shu)進(jin)步(bu)，服務戰略(lve)是(shi)我們(men)接(jie)下(xia)來(lai)要(yao)持(chi)之以(yi)恒(heng)去做(zuo)的事情。本(ben)文從能耗實測數(shu)據(ju)出(chu)發，定(ding)性分(fen)析(xi)了(le)建(jian)廠(chang)地點對(dui)能耗的影(ying)響(xiang)，進(jin)而(er)提(ti)出(chu)了(le)壹些(xie)節(jie)能措(cuo)施(shi)。後(hou)續(xu)工作(zuo)是(shi)收集更多的半導(dao)體工廠運(yun)行(xing)數(shu)據(ju)，建(jian)成數(shu)據(ju)庫儲備(bei)，提升(sheng)技(ji)術(shu)能力。

參(can)考(kao)文獻

［1］江詩兵，袁佳.半(ban)導(dao)體工廠能耗分析(xi)及(ji)建造地點對(dui)能耗的影(ying)響(xiang)

［2］趙(zhao)偉(wei) 東．建廠(chang)地區(qu)條(tiao)件與(yu)廠(chang)址(zhi)選擇(ze)［Ｊ］．石(shi) 油(you) 化(hua) 工 設 計(ji)，１９９９，１６（２）：３０ ３３．

［3］企業微電網(wang)設(she)計(ji)與(yu)應用手冊(ce)2022.05版(ban).